MEMS传感器晶圆级测试中探针台的关键作用 随着微机电系统（MEMS）技术的快速发展，MEMS传感器已经广泛应用于各种领域，如消费电子、汽车、医疗设备、工业自动化等。为了确保MEMS传感器在实际应用中的可靠性和稳定性，进行有效的测试至关重要。晶圆级测试（Wafer-Level Test, WLT）作为M 传感器 晶圆 探针台 mems 传感器晶圆 2025-09-24 10:23 4